■プレナリー講演(計2件)
堀 勝(名古屋大学)
「プラズマ医療科学の総括と未来展望」
渡部 直樹(北海道大学)
「低温氷表面における水素の化学物理:
宇宙における化学進化を理解する」
■招待講演(計6件)
稲田 優貴(埼玉大学)
「シャックハルトマンセンサによる放電プラズマの
2次元電子密度分布測定」
王 斗艶(熊本大学)
「植物類や水産業への高電圧・プラズマ利用」
佐竹 真(日立ハイテクノロジーズ)
「低ダメージMRAM加工プロセス」
田中 康規(金沢大学)
「誘導熱プラズマによるナノ粒子製造時の原料蒸発
および分子生成・輸送の可視化」
杤久保 文嘉(首都大学東京)
「シミュレーションから見た気液界面プラズマの物理と化学」
野沢 善幸(SPPテクノロジーズ)
「ミニマル規格のプラズマエッチング装置における
BOSCHプロセスの利点と展望」
■一般講演
1) プロセシングプラズマにおける素過程・モデリング
2) プロセシングプラズマの診断・計測・モニタリング
3) 低ガス圧プロセシングプラズマの生成および応用
4) 大気圧プラズマ・熱プラズマの生成および応用
5) 液相・気液界面プラズマの生成および応用
6) プラズマによる薄膜・表面プロセス(エッチング,薄膜形成,表面改質)
7) エレクトロニクス・ナノテクノロジー分野へのプラズマ応用
8) 医療・バイオ分野へのプラズマ応用
9) 環境・宇宙・エネルギー分野へのプラズマ応用
10) 上記以外のプラズマ関連研究
■重点テーマ
11) マルチフェーズプラズマによる材料プロセス
12) 農業・水産業・食品産業へのプラズマ応用
■SPP講演奨励賞
優れた一般講演論文を発表した若手研究者の功績を称えることを目的として、「プラズマプロセシング研究会講演奨励賞」を設けました。審査を希望する場合は講演申込時に申請してください。
以下の条件を満たす人が対象者となります。
・2017年4月1日時点で満35歳以下の者。
・論文の筆頭著者であること。
・登録された登壇者であり、且つ、実際に登壇した者。
・講演申し込み時に奨励賞を申請した者。但し、一人一件に限る。
下記の講演が、SPP講演奨励賞の候補となりました。
16aA1,16aB4,16pB1,17pB2,17pA6,
P1-21,P1-28,P1-34,P2-10,P2-24
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